目前，微型傳感器用于測(cè)量溫度、壓力、扭矩、加速度、旋轉(zhuǎn)速度、濕度、聲音、磁場(chǎng)、輻射和光學(xué)。廣泛應(yīng)用于工業(yè)、汽車、生物醫(yī)學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域。
微型傳感器通常由硅半導(dǎo)體材料制成，但有時(shí)由金屬、塑料、聚合物、玻璃和陶瓷等沉積在硅基上的其他材料制成。硅是傳感器結(jié)構(gòu)的理想材料，因?yàn)樗哂袃?yōu)異的機(jī)械性能。其抗拉強(qiáng)度與楊模量相當(dāng)，密度低于鋁。
由硅單晶制成的傳感器在斷裂點(diǎn)上保持彈性，機(jī)械遲滯特別小。此外，硅具有非常低的熱膨脹系數(shù)，可以在不變質(zhì)的情況下暴露在溫度和大多數(shù)氣體、溶劑和酸中。這意味著硅基傳感器極度疲勞，因此使用壽命非常長(通常引用數(shù)十億次操作的使用壽命)。
雖然微傳感器在很多應(yīng)用中特別有用，但也會(huì)造成一些需要特別注意的問題。例如，微傳感器通常有非常低的電容。這使得輸出信號(hào)容易受到噪音污染。因此，通常需要將信號(hào)處理的微電子線路集成到設(shè)備上，從而成為智能微傳感器。
另一個(gè)問題是，微型傳感器通常會(huì)產(chǎn)生非常低的輸出信號(hào)。這需要使用特殊類型的模數(shù)轉(zhuǎn)換器來應(yīng)對(duì)這種低輸入信號(hào)。一種合適的技術(shù)是Σ-Δ轉(zhuǎn)換?；陔姾善胶饧夹g(shù)，可以在不到20ms的時(shí)間內(nèi)提供16位以上的精度。
